Flache Drehtische für das Wafer-Handling

Drehtische beziehungsweise Rotationstische können Proben und Bauteile exakt in einem definierten Winkel positionieren. Dafür werden diese je nach Anwendung mit einem optimalen Antrieb und Messsystem ausgestattet. In den Reinraumumgebungen der Halbleiterindustrie kommen weitere Anforderungen hinzu, vor allem in Bezug auf Partikelarmut, Strahlungsresistenz, Kompaktheit und Wartungsfreiheit. Die Drehtische der Baureihen DT200 und DT310 von Steinmeyer erfüllen diese Anforderungen zu 100 % und sind eine ideale Lösung für das Handling von Wafern bis zu einer Größe von 8“/200 mm (DT200) bzw. 12“/300 mm (DT310).

Hervorragende Genauigkeitswerte bei minimalem Platzbedarf

Charakteristisch ist die flache Bauweise (DT200 = 40 mm, DT310 = 60 mm). Das reduziert den Platzbedarf für Anlagenentwickler deutlich. Die hochpräzise Drehbewegung mit Schritten bis ± 0,004° gewährleistet eine exakte Ausrichtung der Wafer und garantiert bestmögliche Qualität bei minimaler Ausschussrate. Die große Apertur (Durchmesser 66 bis 100 mm) bietet ausreichend Raum für die Integration von Drehdurchführung, Durchlichtmessung und Schichtdickenmessung.

Die Drehtische können Proben inkl. Halterung mit einem Gewicht von 6 bis 12 kg aufnehmen und verfügen über einen Standard DC-Motor. Optional ist ein Schrittmotor oder AC-Servo mit Motor-Encoder und verschiedenen Messsystemauflösungen verfügbar, beispielsweise ein hochauflösendes optisches Winkelmesssystem für eine präzises Positionsmessung. Die Ansteuerung erfolgt über kundenspezifische Schnittstellen (DLL, API), einen Ready-to-Use-Motioncontroller mit Beispielsoftware oder die Integration in SPS-Architekturen bzw. ACS-Umgebungen.

Reinraumtaugliche Drehtische mit hervorragender Anpassungsfähigkeit

Durch die komplette Einhausung zeichnet sich die bewährte Drehtisch-Serie durch eine geringe Partikelfreisetzung aus und ist damit ideal für den Einsatz in Reinräumen geeignet (Varianten bis Reinraum Klasse ISO 5, optional bis Klasse ISO 1 auf Anfrage). Die Systeme arbeiten im 24/7-Betrieb wartungsfrei und lassen sich dank kundenspezifischer Adapter, Abdeckungen und Anbauteile problemlos in bereits existierende Anlagen integrieren. Auch das Chuck-Interface lässt sich modifizieren und auf die applikationsspezifischen Anforderungen anpassen, beispielsweise mittels kundenspezifischem Bohrbild, Auflagefläche mit erhöhter Parallelität, integrierter Drehdurchführung oder durch den Einsatz eines Schnellwechselinterface.

In puncto Oberflächenbeschaffenheit und Strahlungstauglichkeit bestehen ebenfalls keine Einschränkungen. Ob eloxal gereinigt, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science), ob UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage): Die Steinmeyer-Drehtische der Baureihen DT200 und DT310 sind für alle Anforderungen und Umgebungsbedingungen optimal gerüstet.