Elektrotechnik
Prozesse und technologische Herausforderungen bei Niederdruck MEMS Sensoren
Mikro-elektromechanische Systeme (MEMS), sind sehr verbreitet in der Sensorik. Auf Basis von Halbleiter Fertigungsprozessen ermöglichen diese die Miniaturisierung und skalierte Produktion von Sensoren verschiedener Messprinzipien und so den Einsatz in vielen Applikationen. Eine wesentliche Physikalische Messgrösse ist der Druck, häufig der Luftdruck oder auch der Druck eines Fluids. Je nach Weiterlesen…