Mikrotechnik
Silicon Microstructures: Niedrig-Differenzdrucksensor mit außerordentlicher Langzeitstabilität
SMI (Silicon Microstructures, Inc.), eine Tochtergesellschaft der Elmos, stellt mit der SM933X-Serie MEMS-Drucksensorsysteme für extremen Niedrigdruck vor. Der vollständig temperaturkompensierte und druckkalibrierte Sensor mit Druckbereichen von nur 125 Pa (0,50inch / 1,27cm inH2O) ermöglicht eine präzise Druckmessung in Klimatisierungen sowie industriellen und medizinischen Anwendungen. Die Ausgangsgenauigkeit (1% FS) und Langzeitstabilität Weiterlesen…