Produktionstechnik
High-Performance-Ansteuerung für präzise Luftlager-Positioniersysteme: Modularer Controller für vier, sechs oder acht Achsen
Luftlager-Positioniertische haben sich in vielen Applikationen bewährt, z. B. in der Metrologie, bei der Justierung optischer Fasern, in der Halbleiterfertigung und der Waferinspektion, bei präzisen Scanning-Anwendungen oder Positionieraufgaben in Reinräumen. Die Luftlager bieten hier viele Vorteile im Vergleich zu mechanischen Lagern. Sie arbeiten reibungsfrei, es entsteht kein Abrieb, die Geschwindigkeit Weiterlesen…