Mikrotechnik
Positioniersystem mit hoher Langzeitstabilität
Bauteile müssen in der Halbleiterindustrie oder in Photonik-Anwendungen oft für einzelne Bearbeitungsschritte präzise positioniert und dann stabil und zuverlässig an Ort und Stelle gehalten werden. Ähnliches gilt z. B. auch für Proben bei Röntgenuntersuchungen. Für solche und ähnliche Anwendungen bietet Physik Instrumente (PI) mit dem SpaceFab Q-845 jetzt eine praxisgerechte Weiterlesen…